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长川科技(姑苏)获得晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备专利确保组件方位准确性并下降下跌危险
发布时间:2025-01-01 13:25:21   来源:小9直播软件

  

长川科技(姑苏)获得晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备专利确保晶圆组件方位准确性并下降下跌危险

  金融界2024年10月25日音讯,国家知识产权局信息数据显现,长川科技(姑苏)有限公司获得一项名为“晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备”的专利,授权公告号CN 221861620 U,请求日期为2022年11月。

  专利摘要显现,本实用新型供给了一种晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备,触及晶圆转移技术领域,本实用新型供给的晶圆真空吸附手指包含承载本体和定位组件,承载本体开设有用于吸附晶圆组件的吸气通道,晶圆组件包含晶圆本体、蓝膜和晶圆铁环,晶圆本体经过蓝膜固定在晶圆铁环,吸气通道用于对蓝膜或晶圆本体进行吸附,定位组件装置于承载本体上,定位组件用于限制晶圆组件中晶圆铁环相对于承载本体的方位。本实用新型供给的晶圆真空吸附手指设有定位组件,定位组件可限制晶圆铁环相对于承载本体的方位,来确保了晶圆组件方位的准确性,下降晶圆组件下跌危险。

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