金融界2024年10月25日音讯,国家知识产权局信息数据显现,长川科技(姑苏)有限公司获得一项名为“晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备”的专利,授权公告号CN 221861620 U,请求日期为2022年11月。
专利摘要显现,本实用新型供给了一种晶圆真空吸附手指及晶圆转移设备,触及晶圆转移技术领域,本实用新型供给的晶圆真空吸附手指包含承载本体和定位组件,承载本体开设有用于吸附晶圆组件的吸气通道,晶圆组件包含晶圆本体、蓝膜和晶圆铁环,晶圆本体经过蓝膜固定在晶圆铁环,吸气通道用于对蓝膜或晶圆本体进行吸附,定位组件装置于承载本体上,定位组件用于限制晶圆组件中晶圆铁环相对于承载本体的方位。本实用新型供给的晶圆真空吸附手指设有定位组件,定位组件可限制晶圆铁环相对于承载本体的方位,来确保了晶圆组件方位的准确性,下降晶圆组件下跌危险。
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